主要用途：
本设备主要用于硅片、陶瓷、锗片、砷化镓、铌酸锂、石英玻璃等晶体材料的减薄。
设备原理及特点：
1、本机采用先进的国际知名品牌PLC和触摸屏，自动化程度高，实现人机界面，操作简单一目了然。
2、配备气压压力检测传感器，当气压小于设备设置的正常加工所需的最小压力时设备报警，防止工件吸不牢。
3、带砂轮扭矩控制，当扭矩高于设备设置的正常加工所产生的扭矩时设备报警，防止设备异常或者误操作时撞刀损坏机器配件。
4、带砂轮电流监测功能，当冷砂轮高于设备设置的正常加工所产生的最大电流时砂轮回弹，回弹距离可调，防止砂轮挤压工件造成损坏。
5、带磨轮损耗量的自动补偿功能，防止因砂轮在磨削产品的同时产生的消耗影响工件的加工精度。
6、设备可根据客户需求选择加装砂轮在线修整功能。
7、设备可根据客户需求选择加装在线测厚功能。
+8613622378685
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微信扫一扫主要技术参数：
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型号 |
FD-150A |
FD-200A |
FD-300A |
FD-550A |
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加工产品尺寸 |
≦150mm |
≦200mm |
≦300mm |
≦0550mm |
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真空吸盘转速 |
0-300rpm/min |
0-300rpm/min |
0-300rpm/min |
0-300rpm/min |
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吸盘电机功率 |
2.2KW380V3相 |
2.2KW 380V3相 |
2.2KW380V 3相 |
2.2KW380V3相 |
|
光栅控制系统 |
分辨率0.0005mm |
分辨率0.0005mm |
分辨率0.0005mm |
分辨率0.0005mm |
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磨轮转速 |
0-3000rpm/min |
0-3000rpm/min |
0-3000rpm/min |
0-3000rpm/min |
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磨轮马达功率 |
5.5kw |
5.5kw |
5.5kw |
5.5kw |
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产品减薄后TTV |
≦2um (6寸产品为例) |
≦2um(8寸产品为例) |
≦3um(12寸产品为例) |
≦3um(12寸产品为例) |
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产品减薄后粗糙度 |
Ra0.002-0.8可调 |
Ra0.002-0.8可调 |
Ra0.002-0.8可调 |
Ra0.002-0.8可调 |
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最小减薄厚度 |
≥60um |
≥80um |
≥100um |
≥100um |
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磨轮重复定位精度 |
1um |
1um |
1um |
1um |
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磨轮最小设定步距 |
0.1um/s |
0.1um/s |
0.1um/s |
0.1um/s |
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水箱尺寸 |
780x480x550mm |
780x480x550mm |
780x480x550mm |
780x480x550mm |
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设备尺寸 |
1200x1250x2050mm |
1200x1250x2050mm |
1200x1250x2050mm |
1300x1350x2150mm |
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重量 |
1700KG |
1700KG |
1850KG |
1850KG |
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